納米定位臺(tái)是為需要非常高精度的大的光學(xué)鏡片和成像系統(tǒng)而開發(fā)的。
使用能夠了精密的滾珠導(dǎo)向系統(tǒng)確保了位移平臺(tái)高精度性能和嚴(yán)格的軌跡控制。
也適合OEM使用，它具有較低拋面和較小尺寸，采用模塊化設(shè)計(jì)，用戶可堆疊使用創(chuàng)建多軸多部件系統(tǒng)。
這款使用了非接觸式直接驅(qū)動(dòng)技術(shù)，提供堅(jiān)固，精確，高速的定位，滿足高頻率大工作量的需要。使用了先進(jìn)的無(wú)鐵直線電機(jī)直接確定技術(shù)，確保*異的納米級(jí)定位性能。
這款納米定位臺(tái)提供了高速度，高精度，高分辨率，高性能的表現(xiàn)。它與傳統(tǒng)的絲杠驅(qū)動(dòng)或壓電驅(qū)動(dòng)相比，具有更大的工作效率和吞吐量。
納米定位臺(tái)主要特點(diǎn)
2毫弧度的范圍，高于微弧度的分辨率；
附屬設(shè)備可以提供高穩(wěn)定性和重復(fù)性；
簡(jiǎn)單彎曲的設(shè)計(jì)降低成本提高應(yīng)用范圍；
EEPROM可以儲(chǔ)存數(shù)據(jù)；
低噪聲，低漂移。
納米定位臺(tái)是以壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)源，結(jié)合柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)實(shí)現(xiàn)X軸、Y軸、XY軸、XYZ軸精密運(yùn)動(dòng)的平臺(tái)，驅(qū)動(dòng)形式包括壓電陶瓷直驅(qū)式與機(jī)構(gòu)放大式兩種，運(yùn)動(dòng)范圍大可達(dá)110μm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應(yīng)速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率、定位精度具有*的可靠性，壓電平移臺(tái)在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
