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真空三維壓電納米定位臺

更新時間: 2021-07-16

P12B.XYZ100壓電掃描臺為3維并聯(lián)式平移掃描臺,臺體中心通孔,內(nèi)部采用無摩擦的柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),采用有限元仿真分析優(yōu)化結(jié)構(gòu),具有高導(dǎo)向精度、高剛性、大負載、無磨損等特點

 

平臺內(nèi)可選擇配置高性能傳感器進行全閉環(huán)反饋,實現(xiàn)0.05%F.S.重復(fù)定位精度。P12B.XYZ100壓電掃描臺掃描范圍可達100μm/軸,閉環(huán)掃描精度高,直線運動無偏航。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于表面測量、顯微成像等應(yīng)用領(lǐng)域,同時適用于真空應(yīng)用,滿足客戶真空應(yīng)用需求。

特點

· 三維XYZ向運動                     

· 行程100μm/軸                     

· 中心通孔Ø10mm                     

· 適用于真空應(yīng)用                     

應(yīng)用領(lǐng)域

· 掃描顯微/表面測量                    

· 共焦顯微/半導(dǎo)體測試                  

· 晶圓定位/圖像處理與穩(wěn)定

· 光纖定位/光學(xué)掃描

電壓位移曲線

技術(shù)參數(shù)

型號:P12B.XYZ100

運動自由度XYZ

行程范圍(0~150V)100μm/軸

傳感器類型SGS

中心通孔Ø10mm

外徑Ø49mm

靜電容量3.6μF/軸

承載能力0.2kg

工作溫度范圍-20~80℃

材質(zhì)鋼、鋁

外形尺寸(高)38.5mm

出線長1.5m

傳感/電壓連接器LEMO

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