干涉掃描中的中空式三維壓電偏轉鏡
S23.ZT1K系列壓電偏轉鏡為θx、θy偏轉/俯仰及Z軸升降臺，臺體中心通孔，產品體積小巧、結構緊湊，可以實現(xiàn)的偏轉范圍為1.5mrad， Z軸直線運動行程為10μm，產品為開環(huán)版本，具有非常高的分辨率及響應速度，是干涉掃描移相的理想選擇。
特點
• θx、θy 偏轉，Z 軸升降
• 中心通孔：?10mm
• Z向行程10μm
• 偏轉角度可達1.5mrad/軸
• 溫度穩(wěn)定性高
應用
• 圖像處理與穩(wěn)定
• 激光掃描/光束偏轉
• 主動及自適應光學
• 光學濾波器
• 光束穩(wěn)定
中心通孔 高動態(tài)性
SS23.ZT1K壓電偏轉鏡為多軸俯仰升降臺，產品體積為?20×19.5mm， 可以實現(xiàn)θx、θy軸1.5mrad的偏轉，Z軸10μm的升降。具有非常高的分辨率及亞毫秒的響應速度，三角架結構設計具有很寬的使用溫度范圍。臺體中心帶有通孔，孔徑為?10mm，適用于透光應用，如光過濾等。
可配套鏡片轉接座
SS23.ZT1K可選擇配套鏡片轉接座，用于鏡片的安裝與固定。
技術參數(shù)
型號：S23.ZT1K
運動自由度： θx、θy、Z
θx、θy偏轉角度（0~120V）：1.2mrad（≈240"）
Z向直線行程（0~120V）：8μm
θx、θy 偏轉角度（0~150V）：1.5mrad（≈300"）
Z向直線行程（0~150V）：10μm
θx、θy偏轉分辨率：0.02μrad（＜0.01"）
Z 向位移分辨率：0.1nm
空載諧振頻率：θx6.9/θy6.9/Z16.5kHz
空載階躍時間：0.5ms
靜電容量：0.5μF/軸
材質：鋼
重量：80g
推薦控制器
SS23.ZT1K壓電偏轉鏡為θx、θy偏轉及Z軸升降開環(huán)運動機構，可配套芯明天三通道E70.C3K開環(huán)壓電控制器，實現(xiàn)精密運動控制。
