壓電掃描臺(tái)是一款定制設(shè)計(jì)的三維運(yùn)動(dòng)的壓電平臺(tái)，具有特殊的負(fù)載安裝孔位。它的中心具有50×50mm方形通孔，適用于樣品顯微成像/掃描、微納米范圍的對(duì)準(zhǔn)、納米聚焦、測(cè)量等應(yīng)用。壓電掃描臺(tái)中心具有通孔且體積小巧、無(wú)摩擦、分辨率高、響應(yīng)速度快，配置高精度傳感器，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)分辨率及定位精度且具有高的可靠性。產(chǎn)品主要應(yīng)用于透光精密光學(xué)器件的定位與調(diào)整、生物顯微與光學(xué)顯微成像系統(tǒng)等。
采用柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)，鉸鏈機(jī)構(gòu)基于固體的彈性變形，無(wú)滾動(dòng)和滑動(dòng)部分，具有零摩擦、高精度的特點(diǎn)，并且具有很高的剛度和承載能力。更重要的是，芯明天壓電納米定位臺(tái)的定位精度可達(dá)納米級(jí)甚至亞納米級(jí)。
壓電納米運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無(wú)磨損、免維護(hù)等特點(diǎn)。同時(shí)壓電效應(yīng)將電能直接轉(zhuǎn)換為運(yùn)動(dòng)，在靜態(tài)操作時(shí)，即使在負(fù)載情況下，也不會(huì)消耗功率。
除了在光刻實(shí)驗(yàn)中有著應(yīng)用，還在激光直寫系統(tǒng)中有著廣泛的應(yīng)用。激光直寫是利用強(qiáng)度可變的激光束對(duì)基片表面的抗腐蝕材料實(shí)施變劑量曝光，顯影后在抗腐蝕層表面形成所要求的浮雕輪廓，激光直寫系統(tǒng)的基本工作原理是由計(jì)算機(jī)控制高精度激光束掃描，在光刻膠上直接曝光寫出所設(shè)計(jì)的任意圖形，從而把設(shè)計(jì)圖形直接轉(zhuǎn)移到掩模上。
